A New Technique to Produce Clean and Thin Silicon Films In Situ in a UHV Electron Microscope for TEM-TED Studies of Surfaces

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A New Technique to Produce Clean and Thin Silicon Films In Situ in a UHV Electron Microscope for TEM-TED Studies of Surfaces

著者

和文:	S.Ozawa, A.Yamanaka, K.Kobayashi, Y.Tanishiro, K.Yagi.
英文:	S.Ozawa, A.Yamanaka, K.Kobayashi, Y.Tanishiro, K.Yagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn.J.Appl.Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 29 pp. L655-L658

出版年月

1990年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: