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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:UHV-REM Study of Homoepitaxial Growth of Si 
著者
和文: M.Shima, Y.Tanishiro, K.Kobayashi, K.Yagi.  
英文: M.Shima, Y.Tanishiro, K.Kobayashi, K.Yagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Cryst. Growth 
巻, 号, ページ Vol. 115        pp. 359-364
出版年月 1991年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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