Preparation and Characterization of YBaCuO Superconducting Films by Low-Temperature Chemical Vapor Deposition Using β-Diketonate Complex and N┣D22┫D2O

論文・著書情報

タイトル

和文:	YBaCuO超伝導薄膜の低温CVDによる作製と評価
英文:	Preparation and Characterization of YBaCuO Superconducting Films by Low-Temperature Chemical Vapor Deposition Using β-Diketonate Complex and N┣D22┫D2O

著者

和文:	H. Zama, T. Miyake, T. Hattori, S. Oda.
英文:	H. Zama, T. Miyake, T. Hattori, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn J Appl Phys

巻, 号, ページ

Vol. 31 pp. 3839-3843

出版年月

1992年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: