(Separation of Nucleation and Growth Processes of Nanocrystalline Silicon by Hydrogen Radical Treatment of Hydrogenated Amorphous Silicon)

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノクリスタルシリコンの核形成と結晶成長
英文:	(Separation of Nucleation and Growth Processes of Nanocrystalline Silicon by Hydrogen Radical Treatment of Hydrogenated Amorphous Silicon)

著者

和文:	M. Otobe, S. Oda.
英文:	M. Otobe, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	アメリカ材料学会プロシーディングス
英文:	Mat Res Soc Symp Proc

巻, 号, ページ

pp. 283

出版年月

1993年

出版者

和文:	アメリカ材料学会プロシーディングス
英文:	Mat Res Soc Symp Proc

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: