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論文・著書情報


タイトル
和文:VHF帯プラズマの周波数効果 
英文:(Frequency effects in Processing plasmas of the VHF band) 
著者
和文: S. Oda.  
英文: S. Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Plasma Sources Sci Technol 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 26-29
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
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会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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