超音波噴霧ＩＣＰフラッシュ蒸着法による異種組成ジルコニア薄膜の積層化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	超音波噴霧ＩＣＰフラッシュ蒸着法による異種組成ジルコニア薄膜の積層化
英文:

著者

和文:	佐伯　淳, 藤井義博, 桜井　修, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	佐伯　淳, 藤井義博, 桜井　修, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	J.Ceram.Soc.Japan
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 106 No. 3 pp. 312-316

出版年月

1998年

出版者

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会議名称

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開催地

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