Nano-Structure Fabrication by Electron-Beam Induced Depositon and Atomic Force Microscope-Based Oxidation Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nano-Structure Fabrication by Electron-Beam Induced Depositon and Atomic Force Microscope-Based Oxidation Process

著者

和文:	Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	KCS'99, February 9-11, 1999, Seoul, Korea

巻, 号, ページ

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: