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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Synthesis and Evaluation of Alicyclic Backbone Polymers for 193 nm Lithography 
著者
和文: Hiroshi ITO, Rikiya SATO, Tomonari NAKAYAMA, Mitsuru UEDA.  
英文: Hiroshi ITO, Rikiya SATO, Tomonari NAKAYAMA, Mitsuru UEDA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:ACS, Symp. 
巻, 号, ページ Vol. 706        pp. 208-223
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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