Fatigue testing machine of micro-sized specimens for MEMS applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fatigue testing machine of micro-sized specimens for MEMS applications

著者

和文:	Y. Higo, K. Takashima, M. Shimojo, S. Sugiura, B. Pfister, M.V. Swain.
英文:	Y. Higo, K. Takashima, M. Shimojo, S. Sugiura, B. Pfister, M.V. Swain.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society 1999 Fall Meeting Abstracts

巻, 号, ページ

pp. 680

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: