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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Improvement of Quality and Electrical Property of Sputterd Pb(Zr,Ti)O3 Films by Wet Oxidation Process 
著者
和文: 鶴見敬章.  
英文: takaaki tsurumi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn.J.Appl.Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 38        pp. 5383-5387
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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