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論文・著書情報


タイトル
和文:TMGとTEGを材料としたタングステン細線のGaAs OMVPE埋め込み成長 
英文: 
著者
和文: 新井俊希, 飛田洋, 宮本恭幸, 古屋一仁.  
英文: 新井俊希, 飛田洋, 宮本恭幸, 古屋一仁.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第47回応用物理学会関係連合講演会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 31a-P20-10       
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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