Simultaneous Determination of Activity Coefficient and Diffusion Coefficient of Boron in Single Cristalline Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simultaneous Determination of Activity Coefficient and Diffusion Coefficient of Boron in Single Cristalline Silicon

著者

和文:	H Fukuyama, J Takasago, K Kawagishi, 須佐匡裕, K Nagata.
英文:	H Fukuyama, J Takasago, K Kawagishi, M Susa, K Nagata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Electroche.Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 147 No. 5 pp. 1965-1969

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: