Fatigue testing machine of micro-sized specimens for MEMS applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fatigue testing machine of micro-sized specimens for MEMS applications

著者

和文:	Y.Higo, K.Takashima, M.Shimojo, S.Sugiura, B.Pfister, M.V.Swain.
英文:	Y.Higo, K.Takashima, M.Shimojo, S.Sugiura, B.Pfister, M.V.Swain.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 605 pp. 241-246

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: