Combinatorial Plasma Processing of Amorphous Materials and Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Combinatorial Plasma Processing of Amorphous Materials and Devices

著者

和文:	H. Koinuma, K. Naito, N. Matsuki, H. Shinno, Y.Abiko, W. Mizuno, S. Chiba.
英文:	H. Koinuma, K. Naito, N. Matsuki, H. Shinno, Y.Abiko, W. Mizuno, S. Chiba.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2000 MRS Spring Meeting Abstract

巻, 号, ページ

pp. 365

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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