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論文・著書情報


タイトル
和文:As終端処理による酸化物/Si基板界面の急峻性向上 
英文: 
著者
和文: 高倉雅博, 宮原崇文, 知京豊裕, 鯉沼秀臣, 吉本　護.  
英文: 高倉雅博, 宮原崇文, 知京豊裕, 鯉沼秀臣, 吉本　護.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第47回応用物理学関係連合講演会要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 595
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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