Optical characterization for combinatorial system based on semiconductor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optical characterization for combinatorial system based on semiconductor

著者

和文:	T. Makino, G. Isoya, Y. Segawa, C.H. Chia, T. Yasuda, M. Kawasaki, A. Ohtomo, K. Tamura, Y. Matsumoto, H. Koinuma.
英文:	T. Makino, G. Isoya, Y. Segawa, C.H. Chia, T. Yasuda, M. Kawasaki, A. Ohtomo, K. Tamura, Y. Matsumoto, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SPIE Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 3941 pp. 28-35

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: