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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Epitaxial Growth of Si1-yCy Film by Low Temperature Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
英文: Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 39    No. 11A    pp. L1078
出版年月 2000年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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