Effects of Growth Conditions and RF Plasma on Crystalline and Electrical Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Grown by Liquid Deliverly MOCVD Using a Double Alcholate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Growth Conditions and RF Plasma on Crystalline and Electrical Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Grown by Liquid Deliverly MOCVD Using a Double Alcholate

著者

和文:	Takehito Jimbo, Haruyuki Sano, Yuji Takahashi, 舟窪浩, Eisuke Tokumitsu, 石原宏.
英文:	Takehito Jimbo, Haruyuki Sano, Yuji Takahashi, Hiroshi Funakubo, Eisuke Tokumitsu, Hiroshi Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Integ. Ferro.

巻, 号, ページ

Vol. 26 pp. 109-117

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: