Fabrication of PZT films on Si substrates by sol-gel method using Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> buffer layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of PZT films on Si substrates by sol-gel method using Y₂O₃ buffer layers

著者

和文:	B-E. Park, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.
英文:	B-E. Park, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	12th Intern. Sympo. on. Integrated Ferroelectrics

巻, 号, ページ

pp. 196

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: