半導体プロセスを用いたマイクロERバルブ（3ポートマイクロERバルブの試作と特性実験） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	半導体プロセスを用いたマイクロERバルブ（3ポートマイクロERバルブの試作と特性実験）
英文:

著者

和文:	吉田和弘, 菊地正晃, 朴重濠, 横田眞一.
英文:	吉田和弘, 菊地正晃, 朴重濠, 横田眞一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会2000年度年次大会講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 225

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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