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論文・著書情報


タイトル
和文:rfマグネトロンスパッタ法によるB-C-N系薄膜の合成 
英文: 
著者
和文: 百瀬英明, 大竹尚登, 加藤和典.  
英文: 百瀬英明, 大竹尚登, 加藤和典.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第８回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 45-46
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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