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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Photochemical vapor deposition of Si/Si1-xGex strained layer superlattices deposition at 250oC 
著者
和文: A. Yamada, Y. Jia, M. Konagai, K. Takahashi.  
英文: A. Yamada, Y. Jia, M. Konagai, K. Takahashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 27        pp. 11
出版年月 1988年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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