Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Preparation of Microcrystalline Silicon Films by Very-High-Frequency Digital Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: M. Otobe, S. Oda.  
英文: M. Otobe, S. Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 31        pp. 1948-1952
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.