The role of hydrogen radicals in the growth of a-Si and related alloys

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The role of hydrogen radicals in the growth of a-Si and related alloys

著者

和文:	S. Oda, S. Ishihara, N. Shibata, H. Shirai, A. Miyauchi, K. Fukuda, A. Tanabe, H. Ohtoshi, J. Hanna, I. Shimizu.
英文:	S. Oda, S. Ishihara, N. Shibata, H. Shirai, A. Miyauchi, K. Fukuda, A. Tanabe, H. Ohtoshi, J. Hanna, I. Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 25 pp. 188-190

出版年月

1986年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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