Electrical characteristics of high dielectric constant ZrO<sub>2</sub> thin films prepared by ultra high vacuum-electron beam evaporation method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical characteristics of high dielectric constant ZrO₂ thin films prepared by ultra high vacuum-electron beam evaporation method

著者

和文:	K. Oshima, E. Tokumitsu, S. Ohmi, H. Iwai, H. Ishiwara.
英文:	K. Oshima, E. Tokumitsu, S. Ohmi, H. Iwai, H. Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	29th IUVSTA Intern. Workshop on Selective and Functional Film Deponsition Technologies as Applied to ULSI Technology

巻, 号, ページ

pp. LNP-2,

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: