窒素ラジカル源による窒化膜とSrBi<sub>2</sub>Ta<sub>2</sub>O<sub>9</sub>強誘電体を用いたMFIS構造の作製 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	窒素ラジカル源による窒化膜とSrBi₂Ta₂O₉強誘電体を用いたMFIS構造の作製
英文:

著者

和文:	康昇国, 藤崎芳久, 石原宏.
英文:	康昇国, 藤崎芳久, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第47回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 30a-P11-11/II

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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