高誘電率材料ZrO<sub>2</sub>膜の特性とSr添加の効果 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	高誘電率材料ZrO₂膜の特性とSr添加の効果
英文:

著者

和文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.
英文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第61回応用物理学会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 3p-ZD-5/II

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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