New Pt/(Bi,La)4Ti3O12/Si3N4/Si MFIS structure for FET-type ferroelectric memories by the sol-gel method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	New Pt/(Bi,La)₄Ti₃O₁₂/Si₃N₄/Si MFIS structure for FET-type ferroelectric memories by the sol-gel method

著者

和文:	T. Kijima, Y. Fujisaki, T. Isobe, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.
英文:	T. Kijima, Y. Fujisaki, T. Isobe, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Sympo. (Ferroelectric Thin films IX)

巻, 号, ページ

pp. CC-3.6,

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: