MOCVD法によるPbTiO<sub>3</sub>およびPbZrO<sub>3</sub>薄膜の析出挙動に及ぼす気相組成の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOCVD法によるPbTiO₃およびPbZrO₃薄膜の析出挙動に及ぼす気相組成の影響
英文:	Effect of Gas Composition Behavior of PbTiO₃ and PbZrO₃ Thin Films by MOCVD

著者

和文:	岩崎彰則, 遠藤文徳, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	岩崎彰則, 遠藤文徳, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第16回関東支部研究発表会
英文:	16 th Ceramic Research Conference of Kanto Branch

巻, 号, ページ

No. 1A03 pp. 4-5

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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