RFマグネトロンスパッタ法によるCeO<sub>2</sub>/YSZ/Si(001)ヘテロエピタキシャル薄膜の合成と電気的性質

論文・著書情報

タイトル

和文:	RFマグネトロンスパッタ法によるCeO₂/YSZ/Si(001)ヘテロエピタキシャル薄膜の合成と電気的性質
英文:	Preparation and Electrical Properties of CeO₂/YSZ/Si(001) Heteroepitaxial Thin Film by RF Magnetron Sputtering

著者

和文:	吉田慎, 守屋智彦, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭, 土方研一.
英文:	吉田慎, 守屋智彦, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭, 土方研一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2000年年会
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2000

巻, 号, ページ

No. 2E35 pp. 199

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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