A Study on Three Degree-of-freedom Fine Positioning Device Based on Electromagnetic Force

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on Three Degree-of-freedom Fine Positioning Device Based on Electromagnetic Force

著者

和文:	K-H. Lee, K-B. Choi, K. Park, S.H. Kim, Y.K. Kwak.
英文:	K-H. Lee, K-B. Choi, K. Park, S.H. Kim, Y.K. Kwak.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. of KSPE

巻, 号, ページ

Vol. 15 No. 11 pp. 199-207

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: