減圧熱プラズマ成膜法によるチタン酸鉛PbTiO3薄膜の合成に及ぼす成膜圧力の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	減圧熱プラズマ成膜法によるチタン酸鉛PbTiO3薄膜の合成に及ぼす成膜圧力の影響
英文:	:Effects of Pressure on PbTiO3 Thin Film Prepared by Low-Pressure Thermal Plasma Deposition

著者

和文:	永田真吾, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 増田善男, 水谷惟恭.
英文:	永田真吾, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 増田善男, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本金属学会誌
英文:	:J. Japan Inst. Metals

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 1 pp. 62-67

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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