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論文・著書情報


タイトル
和文:応力を印加して成膜したジルコニア薄膜における配向方位分布と残留歪 
英文:Orientational Distribution and Residual Stress of Zirconia Thin Films grown under the Stress 
著者
和文: 佐伯 淳, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 佐伯 淳, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会2000年年会 
英文:Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2000 
巻, 号, ページ     No. 2D33    pp. 181
出版年月 2000年 
出版者
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会議名称
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開催地
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