Electron-Beam Direct-Writing using RD2000N for Fabrication of Nano-Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electron-Beam Direct-Writing using RD2000N for Fabrication of Nano-Devices

著者

和文:	A. Dutta, S. P. Lee, Y. Hayafune, S. Oda.
英文:	A. Dutta, S. P. Lee, Y. Hayafune, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 18 No. 6 pp. 2857-2861

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: