Thickness and Roughness Analysis on YSZ/Si(001) Epitaxial Films with Ultra Thin SiO<sub>2</sub> Interface by X-Ray Reflectivity

論文・著書情報

タイトル

和文:	Thickness and Roughness Analysis on YSZ/Si(001) Epitaxial Films with Ultra Thin SiO₂ Interface by X-Ray Reflectivity
英文:

著者

和文:	C.-Hua Chen, N.Wakiya, A.Saiki, K.Shinozaki, N.Mizutani.
英文:	C.-Hua Chen, N.Wakiya, A.Saiki, K.Shinozaki, N.Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	Key Engineering Materials (Electroceramics in Japan III)
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 181-182 pp. 121-24

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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