Fabrication of PZT Films on Si Substrates by Sol-Gel Method Using Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of PZT Films on Si Substrates by Sol-Gel Method Using Y₂O₃ Buffer Layers

著者

和文:	Byung-Eun PARK, Hiroshi ISHIWARA.
英文:	Byung-Eun PARK, Hiroshi ISHIWARA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Integrated Ferroelectrics

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 1-4 pp. 1161

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: