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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性熱CVD法による多結晶SiGe膜作製の高圧化と膜特性 
英文: 
著者
和文: 齋藤朋之, 大木周平, 張建軍, 清水耕作, 半那純一.  
英文: 齋藤朋之, 大木周平, 張建軍, 清水耕作, 半那純一.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第47回 応用物理学会関係連合講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 956-956
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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