Selective Growth of Aluminium nitride by Laser Enhanced Reactive Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective Growth of Aluminium nitride by Laser Enhanced Reactive Vapor Deposition

著者

和文:	Naoto OTAKE, Lisheng LIU, Kazunori KATO.
英文:	Naoto OTAKE, Lisheng LIU, Kazunori KATO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. Forum on New Materials in 9 th World Ceramics Congress(CIMTEC)

巻, 号, ページ

pp. 248-255

出版年月

1998年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: