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論文・著書情報


タイトル
和文:焼結ダイヤモンドターゲットを用いたスパッタ法によるDLC膜の合成 
英文: 
著者
和文: 高間康之, 大竹尚登, 加藤和典.  
英文: 高間康之, 大竹尚登, 加藤和典.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第12回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 27-28
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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