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論文・著書情報


タイトル
和文:Si-C薄膜の気相合成及びその面ヒーターへの適用 
英文: 
著者
和文: 大竹尚登, 鴛海達矢, 安原鋭幸, 加藤和典.  
英文: 大竹尚登, 鴛海達矢, 安原鋭幸, 加藤和典.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第6回機械材料材料加工技術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 53-54
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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