Growth of DLC and BCN Films by Magnetron Sputtering of Diamond and c-BN Target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of DLC and BCN Films by Magnetron Sputtering of Diamond and c-BN Target

著者

和文:	N. Ohtake, H. Momose, X. D. Yang.
英文:	N. Ohtake, H. Momose, X. D. Yang.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 6th Applied Diamond Conference/ Second Frontier Carbon Technology Joint Conference, (Auburn)

巻, 号, ページ

Vol. NASA/CP 2001 No. 210948 pp. 479-484

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: