Fabrication of fine patterns by positive-working resists using a polyimide Langmuir-Blodgett film system.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of fine patterns by positive-working resists using a polyimide Langmuir-Blodgett film system.

著者

和文:	Mitsumasa Iwamoto, Shigeo Kasahara, Keiji Iriyama, Yasunari Nishikata, Masa-aki Kakimoto, Yoshio Imai.
英文:	Mitsumasa Iwamoto, Shigeo Kasahara, Keiji Iriyama, Yasunari Nishikata, Masa-aki Kakimoto, Yoshio Imai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 210/211 pp. 461-464

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: