Combinatorial Fabrication Process for a-Si:H Thin Film Transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Combinatorial Fabrication Process for a-Si:H Thin Film Transistors

著者

和文:	Hemantkumar N. Aiyer, D. Nishioka, R. Maruyama, H. Shinno, N. Matsuki, K. Miyazaki, H. Fujioka, H. Koinuma.
英文:	Hemantkumar N. Aiyer, D. Nishioka, R. Maruyama, H. Shinno, N. Matsuki, K. Miyazaki, H. Fujioka, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 40 pp. L81-L83

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: