Temperature-gradient and composition-spread deposition of epitaxial oxide films and high throughput characterization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Temperature-gradient and composition-spread deposition of epitaxial oxide films and high throughput characterization

著者

和文:	T. Fukumura, M. Ohtani, J. Nishimura, T. Kageyama, T. Koida, M. Lippmaa, M. Kawasaki, T. Hasegawa, H. Koinuma.
英文:	T. Fukumura, M. Ohtani, J. Nishimura, T. Kageyama, T. Koida, M. Lippmaa, M. Kawasaki, T. Hasegawa, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE

巻, 号, ページ

Vol. 4281 pp. 17-26

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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