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論文・著書情報


タイトル
和文:微結晶シリコンの成長機構 
英文:(Growth Mechanism of Microcrystalline Silicon Prepared by Alternating Deposition of Amorphous Silicon and Hydrogen Radical Annealing) 
著者
和文: M. Otobe, S. Oda.  
英文: M. Otobe, S. Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn J Appl Phys 
巻, 号, ページ Vol. 31        pp. L1388-L1391
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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