(Preparation of Highly Oriented Copper Films by Photo-Assisted Chemical Vapor Deposition Using β-Diketonate Complex)

論文・著書情報

タイトル

和文:	光アシストCVDによる配向性Cu薄膜の作製
英文:	(Preparation of Highly Oriented Copper Films by Photo-Assisted Chemical Vapor Deposition Using β-Diketonate Complex)

著者

和文:	H. Zama, T. MIiyake, T. Hattori, S. Oda.
英文:	H. Zama, T. MIiyake, T. Hattori, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn J Appl Phys

巻, 号, ページ

Vol. 31 pp. L588-L590

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: