In Situ Monitoring of Optical Reflectance Oscillation in Layer-by-Layer Chemical Vapor Deposition of Oxide Superconductor Films

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化物超伝導薄膜のCVDにおける光学的その場モニター
英文:	In Situ Monitoring of Optical Reflectance Oscillation in Layer-by-Layer Chemical Vapor Deposition of Oxide Superconductor Films

著者

和文:	H. Zama, K. Sakai, S. Oda.
英文:	H. Zama, K. Sakai, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn J Appl Phys

巻, 号, ページ

Vol. 31 pp. L1243-L1245

出版年月

1992年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: