Self-limiting adsorption and in situ optical monitoring for atomic layer epitaxy of oxide superconductors

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化物超伝導体の原子層エピタキシー
英文:	Self-limiting adsorption and in situ optical monitoring for atomic layer epitaxy of oxide superconductors

著者

和文:	S. Oda, H. Zama, K. Fujii, K. Sakai, Y.C. Chen.
英文:	S. Oda, H. Zama, K. Fujii, K. Sakai, Y.C. Chen.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

No. 225 pp. 284-287

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

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英文: