Crystallization Mechanism of Nanocrystalline Silicon Fabricated by Hydrogen Radical Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystallization Mechanism of Nanocrystalline Silicon Fabricated by Hydrogen Radical Annealing

著者

和文:	M. Otobe, S. Oda.
英文:	M. Otobe, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solid State Devices and Materials Conference, Extended Abstracts

巻, 号, ページ

pp. 395-397

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:	Solid State Devices and Materials Conference, Extended Abstracts

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: