In Situ Optical Diagnostics for Layer-by-Layer CVD of YBaCuO Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In Situ Optical Diagnostics for Layer-by-Layer CVD of YBaCuO Films

著者

和文:	K. Sakai, H. Zama, S. Oda.
英文:	K. Sakai, H. Zama, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advances in Superconductivity V, Edited by Y. Bando and H. Yamauchi, (Springer-Verlag, Tokyo)

巻, 号, ページ

pp. 841-844

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:	Advances in Superconductivity V, Edited by Y. Bando and H. Yamauchi, (Springer-Verlag, Tokyo)

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: